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除气
除气
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有些工件它自身内部存在着许多的气体、水分等,这些物质都会跟着设备加热时被排放到真空室中,下降了真空度,更甚者,有些气体带有毒性成分,直接损害到真空室内部机械构造,造成设备不能正常运作。
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通常运用的工件除气办法是烘烤,经过加热把工件内的气体、水分排出,在镀膜前,抽气的同时,对工件进行加热,当工件内水分和气体因为加热而放出后,跟着真空室内的气体一同被真空泵抽出。
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