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真空镀膜机磁控溅射技术应用

2021-10-08

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      凯发k8一触即发-凯发天生赢家一触即发官网镀膜技术有很多种,如电子蒸发镀膜技术、多弧离子镀膜技术,以及磁控溅射镀膜技术,但是一般对膜层结构、光洁度、附着性、硬度、腐蚀性要求比较高,都采用磁控溅射镀膜技术。磁控溅射镀膜能低温成膜,结构细腻额,腐蚀性好,表面光滑,是很多高端产品表面处理的不二之选。真空镀膜机磁控溅射目前是一种应用十分广泛的薄膜沉积技术,溅射技术上的不断发展和对新功能薄膜的探索研究,使磁控溅射应用延伸到许多生产和科研领域。


真空镀膜机


        一、在微电子领域作为一种非热式镀膜技术,主要应用在化学气相沉积(cvd)或金属有机化学气相沉积(mocvd)生长困难及不适用的材料薄膜沉积,而且可以获得大面积非常均匀的薄膜。包括欧姆接触的al、cu、au、w、ti等金属电极薄膜及可用于栅绝缘层或扩散势垒层的tin、ta2o5、tio、al2o3、zro2、aln等介质薄膜沉积。
        二、磁控溅射技术在光学薄膜(如增透膜)、低辐射玻璃和透明导电玻璃等方面也得到应用。在透明导电玻璃在玻璃基片或柔性衬底上,溅射制备sio2薄膜和掺杂zno或insn氧化物(ito)薄膜,使可见光范围内平均光透过率在90%以上。
       三、在现代机械加工工业中,利用磁控溅射技术制作表面功能膜、超硬膜,自润滑薄膜,能有效的提高表面硬度、复合韧性、耐磨损性和抗高温化学稳定性能,从而大幅度地提高涂层产品的使用寿命。
      凯发k8一触即发-凯发天生赢家一触即发官网磁控溅射除上述已被大量应用的领域,还在高温超导薄膜、铁电体薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜发光材料、太阳能电池、记忆合金薄膜研究方面发挥重要作用。
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