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高精密

磁控溅射

光学镀膜机

high precision magnetron sputtering optical coating machine
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high precision magnetron sputtering optical coating machine 高精密磁控溅射光学镀膜机

采用icp辅助磁控溅射的光学膜层低吸收和低应力,加工各类带通膜和截止膜,如人脸识别(face id),中远红外高透膜;磁控溅射各类金属cu,al,cr,au,ag,sus等,工艺开发改善深孔镀膜,镀膜层具有优异的台阶覆盖性能,应用于mems芯片封装。


优势:

•兼容4~12英寸的自动化基材传输系统
•工艺过程中实时基于基材直接监控
•清洁环境沉积薄膜点缺陷少
•沉积工艺稳定,薄膜具有高重复性
•快速换靶,维护保养便捷

product advantage.

产品特点
hcso系列高精密磁控溅射光学镀膜机包括以下关键功能:
  • 有效

    基于pc的有效自动系统控制,用于涂层过程

  • 优异

    优异的均匀性和最高的生产良率

  • 精准

    精确监控膜厚

  • 高效

    出色的溅镀技术和很强的量产能力

  • 专利

    汇成自主研发离子源

  • 简单

    易于操作和维护

晶圆尺寸 装载量
4" 16
6" 12
8" 9
12" 5
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