hcvac开发出具有自主知识产权的， 适用于制备ta-c涂层电弧阴极模块，该设备可以沉积硬度超过40gpa的超硬ta-c涂层，可在hcsh系列标准设备上沉积ta-c涂层
——功能性涂层设备
功能涂层设备应用
hcvac开发出具有自主知识产权的， 适用于制备ta-c涂层电弧阴极模块，该设备可以沉积硬度超过40gpa的超硬ta-c涂层，可在hcsh系列标准设备上沉积ta-c涂层
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